高精準度 、 高速率 、 高適用性

• 高精準度 (High Accuracy)   
  • 標示視野內精度 ( Specify accuracy within FOV ) 視野內精度有兩種標示方式：
    • P_FV2D,MPE :  指完全視野內量測, 載物台不移動時
    • P_F2D,MPE :  指視野內量測時，載物台有移動的情況下
    • 精度

      Probing error*	PF2D 0.8 µm
      probing error of the imaging probe*	PFV2D 0.3 µm

  • 增強對比度和清晰度 ( Improved contrast and clarity )
    VMZ-S 採用XGA相機模組，提升其對比與清晰度
  • 載物台重現性 ( Define the stage repeatability )
  • 最小可測量直徑 (Define the minimum measurable diameter)
    客戶可以依照所需量測產品的大小來選擇適當的機型

• 高適用性 ( High usability )

  • AutoMeasure2020提高適用性

  • 支援量測程式自動編寫( Measurement Programing Support)目前在Level 2，可以做簡單的自動編寫，設計者正努力往更高階設計。 

  • 附加的新功能，可更輕鬆有效地使用

    • 多點自動對焦之提升 : 對打線線高之量測更方便有效率，只要設定起始點，然後拖拉就可完成，不論是各方向都可以  

    • 矩形尋邊器之增加:  對 PCB，WLP，Probe Card 的使用者   

    • 計數器可以有歸零功能: 提供簡易手動量測

    • 新增EXCEL輸出巨集功能，在用巨集做的輪廓量測比對後，也可以將結果輸出至EXCEL

  • 重新設計之操縱桿 ( Joystick redesigned )讓使用者在操作上更加的舒適便利

• 高速率
  • 載物台移動快速 ( Fast stage movement )
    VMZ-S 增加載物台移動加速度，以加快短距離行駛的速度。當載物台移動小於10mm時，VMZ-S 3020 減少移動的時間是
  • 透過USB 3.0快速控制 ( Fast control via USB 3.0 )
    VMZ-S採用USB3.0介面來加快圖像傳輸溝通和載物台控制速度